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MPCVD 设备与工艺

分析 MPCVD Equipment 的设备结构、微波等离子体反应器、工艺窗口、过程监控、国产化路径与 CVD 金刚石产能扩张。

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MPCVD设备与工艺

同样是自研MPCVD,真正要优化的是什么?

自研MPCVD不只是节省采购成本,更重要的是获得设备控制权、缩短问题到验证的反馈路径,并建立可复制的制造学习能力。

  • MPCVD
  • 设备自研
  • 设备迭代
MPCVD设备与工艺

MPCVD中测准温度有多难?

等离子体发光、甲烷副产物和衬底发射率,会让MPCVD中的单色与双色测温读数偏离真实温度。

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  • 测温
  • 等离子体